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国仪量子推出世界首台分辨率高达2.5纳米的钨灯丝扫描电镜
来源:中国仪器仪表学会分析仪器分会2022/11/25

       11月24日,国仪量子召开电子显微镜新品发布会。公司推出世界首台分辨率达到2.5纳米的钨灯丝扫描电子显微镜,突破了这一技术长期以来的技术瓶颈。

       长期以来,钨灯丝扫描电镜的分辨率都停滞不前,难以实现用户对更高分辨率的追求。作为一种应用广泛的高端科学仪器,我国扫描电镜长期以来被进口品牌垄断。

       国仪量子电子显微镜技术团队针对这一技术瓶颈开展了科研攻关,开创了在镜筒内增加一根从阳极直达物镜极靴的10kV高压管(高压隧道技术)的解决方案,并实现了在所有电压段的分辨率均大幅度超越普通钨灯丝电镜。SEM3300在20kV分辨率达到2.5nm,比普通钨灯丝电镜提高了16%,成为目前世界上分辨率最高的钨灯丝扫描电镜。同时,作为钨灯丝电镜“王者”,SEM3300在任意电压下都表现出卓尔不群的分辨力——在3kV分辨率达到4nm,相比普通钨灯丝电镜提高了2倍;在1kV分辨率达到5nm,相比普通钨灯丝电镜提高了3倍——满足更多材料的分析测试需求。

       国仪量子还推出了钨灯丝扫描电镜SEM2000和场发射扫描电镜SEM4000。钨灯丝扫描电镜SEM2000是一款操作不挑人,简约不简单的产品,以“人人都敢用,人人都能用”为目标打造。场发射扫描电镜SEM4000是一款针对分析型用户需求的全新产品,具有电子束流大、分析速度快的特点、最大超过200nA的电子束流,且束流大小连续可调,有利于选择最合适的成像和能谱条件。

       当下,全球都在强调制造业的重要性,我国更是将制造业转型升级作为长期的发展战略。自2019年推出首台扫描电子显微镜以来,国仪量子不断精研行业痛点,深耕核心技术。扫描电镜作为一种强大的分析仪器,在提升制造业产品创新能力与产品质量上将大有作为。


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