芯航微(上海)科技有限公司
2026/03/30 |

芯航微(上海)科技有限公司以航空发动机“国家千人”及航空发动机核心设计研发人员为核心,依托航空发动机研发技术体系及平台,从事高性能涡轮分子泵的自主设计、研发及销售,以解决国家集成电路装备、高端科学仪器、量子科技装备、航空航天、新能源、生物科技研发等装备关键核心零部件长期被国外垄断、“卡脖子”问题,助力国产高端装备全面崛起与发展。
目前,公司已拥有半磁悬浮系列和全磁悬浮系列涡轮分子泵。在半磁悬浮系列分子泵产品中,已拥有MAX300、MAX300-双口、MAX80、MAX split 80、MAX700、MAX400-300-50和MAX2300等7款型号;其中MAX300、MAX300-双口、MAX80、MAX split 80、MAX700、MAX400-300-50等6款型号已具备量产能力。产品可应用于第三代半导体、长晶设备、各类质谱仪、扫描电镜、氦检漏仪、RGA等高端科学仪器。MAX2300正在研发中,预计在2027年陆续上市。全磁悬浮系列分子泵产品中,已拥有2700M等型号,现正在研发中,预计2027年底具备送样条件。 公司自主设计研发的麦克斯韦系列涡轮分子泵中,部分产品型号已通过半导体设备研发公司及Fab厂、高端科学仪器设备研发公司等。
企业官网:http://www.aerosemivac.com/