高精度四极质量分析器的工程化研制与应用

       获奖成果：高精度四极质量分析器的工程化研制与应用

       申报单位：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

       创新点：该单位研制的高精度四极质量分析器综合几何精度误差小于0.003mm，在国内外四极质谱仪上进行了大量的产品性能测试，相关测试结果表明，该成果的分辨率、灵敏度等指标可满足应用要求，综合性能达到同类进口产品水平。