紫外光电子谱分析仪

       获奖成果：紫外光电子谱分析仪

       申报单位：西安交通大学、中国科学院高能物理研究所、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、北京卫星环境工程研究所、西北大学、北京玉研精密仪器有限公司、中国科学院半导体研究所、常州玉宇电光器件有限公司、上海恒益光学精密机械有限公司

       创新点：该成果集成了高功率高稳定性真空紫外光源、高分辨率真空紫外单色仪、大动态范围光电子探测器、半球型电子能量分析器等自主研发的关键核心部件，且形成了完整的软硬件平台，可对材料进行高分辨率电子结构表征。