SEM5000X高分辨电子显微镜

       获奖成果：高分辨电子显微镜 SEM5000X

       申报单位：国仪量子技术(合肥)股份有限公司

       创新点：该成果通过技术创新设计了双减速电子光学系统，进一步减小系统球差、色差的影响，使得核心参数-极限分辨率达到0.6nm；并采用机械优中心位移台降低机械振动干扰，呈现优质图像；填补了国内市场空白，树立了国产高端扫描电镜的标杆，主要应用于半导体检测等领域。